Интересные статьи:
Механикотехнологические методы испытаний
Первое место занимает ситовый анализ, который во многих случаях удовлетворительно характеризует технологическую Пригодность порошка. В последнее время отмечается стремление стандартизировать необходимые для ситового анализа приборы и ход анализа...
Исследования химической активности
Общеизвестно, что металлический порошок при соприкосновении с воздухом активно поглощает кислород. Однако это Окисление может распространяться в различной степени, причем скорость реакции зависит от размеров и состояния поверхности...
Физические методы исследования
Значительным достижением в области прямого исследования металлических порошков является широкое использование электронного микроскопа, на что указывают Хунгер и Павлек, а также Гривст с сотрудниками. Хотя высказывания отдельных авторов о возможности применения электронного микроскопа в порошковой металлургии и расходятся в частностях, все же большинство из них указывает на преимущества этого метода...
Вольтамперные характеристики структур металхимичномодифицированного кремния |
09-12-2023 |
В последние годы большое количество работ посвящена технологии получения структур и исследованием физикоелектичних свойств, таких как фото и электролюминесцентных пористого кремния и структур на их основе [1,2]. Образцы пористого кремния, полученных методом электрохимического травления приводят к созданию
розупорядкованих кремния с плохо изученными характеристиками.Добре известно, что прямые вольт амперные характеристики контактов металпоруватий ркремний (пористый слой ркремнию полученный методом электрохимического травления) не зависят от свойств барьера Шоттки, а зависят от процесса двойной инжекции электронов из металлического контакта в пористый слой кремния и дырок с ркремнию [3]. Известно также, что свойства пористого кремния и структур на его основе зависят от методов его создания.
Цель работы. Целью данной работы является исследование структурных свойств химически модифицированного кремния, созданного методом термического окисления ркремнию с последовательным химическим травлением и электрофизических свойств диодных структур металл химически модифицированный кремний р кремний на его основе. .
Объект исследования: изучалась структура слоев химически модифицированного кремния, созданных методом термического оксидирования монокристаллического ркремнию Чохральского (N p = 5 октября 20м 3) (111)) при температуре 1150 0 С с последовательным травлением в плавиковой (ОТ) кислоте и выборочном химическом травнике Сиртля с предварительной обработкой в смеси Каро и перекисноамиачному растворе [4]. Структуры палладий (Рфхимичномодификований кремнийр кремний изготавливались методом термического напыления в вакууме (ВУП5) на поверхность химически модифицированного кремния с последовательным отжигом в вакууме при температуре 250 0 С и фотолитографией. (Рис. 1).
I. Методы исследования и оборудование
Поверхность химичномодификованого кремния после снятия оксида и обработке в избирательном химическом травнике Сиртля исследовалась методами
электронной микроскопии (с помощью электронного сканирующего микроскопа "CamScan" с рентгеновского микроанализатора "Link860"), метод рентгеновской топографии, оптическим методом (с помощью металлографического микроскопа ММР2Р) и с помощью ОЖЕспектрометра LAS3000 (диаметр пучка 5 мкм). Свойства барьерных структур изучались электрофизических методов снятия вольт амперных характеристик с помощью специально разработанных схем (рис. 2).
II. Результаты работы и их обсуждение
На рис. 3 приведены типичное изображение поверхности кремния после снятия слоя оксида и обработки травником Сиртля течение 0,5 минуты, полученное с помощью микроскопа ММР2Р. Хорошо видно, что типичные ямки травления, характерные для дислокаций и дефектов упаковки, отсутствуют. Имеющиеся на поверхности кремния ямок различной формы связывались с вытравливания ячеек оксида, которые возникают при ускоренной термодиффузии оксида вдоль структурных дефектов кремния. Попытки получить изображение поверхности Si с помощью электронного микроскопа "CamScan" оказались неудачными. Это связано с тем, что при облучении пучком электронов поверхность кремния сильно заряджувалась и не было возможности получить пучок отраженных электронов. Выше изложенное свидетельствует, что исследование слои кремния находятся в сильно розупорядкованих состоянии, близкий к дрибноблокованои или аморфной структуры и проявляют некоторые диэлектрические свойства. При исследовании свойств дрибноблокованои структуры рентгеновским топографическим методом Фудживара установлено, что соседние блоки розориентовани под углами до 10. Причем, повышение фона в отдельных местах топограм связывалось с присутствием примесей металла и (или) кислорода, что также подтверждается результатами ОЖЕанализу. При дальнейшем травлении поверхности кремния (до 4 минут) травником которые
Способы декоративного оформления изделий из металла
Наличие дефектов в околошовной зоне трубы
Вольтамперные характеристики структур металхимичномодифицированного кремния
КАКИЕ ИЗДЕЛИЯ МОЖНО СДЕЛАТЬ ИЗ ЧЕРНОГО МЕТАЛЛА